在紫外線波長範圍中亦可以有效地活用6/405/365nm 、長壽命且具有放射強度的高亮度燈。
介紹運用於電子回路基板之製造流程的光產品。
在紫外線波長範圍中亦可以有效地活用6/405/365nm 、長壽命且具有放射強度的高亮度燈。 | 利用光與熱的燈、富有靈活性及控制性、且具備效率高、潔淨、以及小型輕量等其他熱源沒有的優點 。 |
有效放射波長180nm以下的真空紫外光(VUV) 。 | 內建UV燈,方便使用的點狀UV照射裝置 。配合生產線或工作之鏡頭與裝置等的選購配備齊全。 |
介紹投影曝光方式(單面整體曝光・雙面同時曝光‧步進與重複)、及PROXIMITY曝光方式等各種曝光裝置。 | 介紹進行晶圓或光罩外觀檢查、軟性基板等回路檢查、 以及玻璃面檢查的外觀檢查裝置。 |