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有關液晶面板製造

介紹可運用在液晶或電漿等平面顯示器之製造流程的光產品。


液晶面板製造関連

在紫外線波長範圍中,亦可有效運用436/405/365nm ,具有長效型穩定放射強度的高亮度燈具。


利用光與熱的燈,富有靈活性及控制性,且具備高效率、潔淨、以及小型輕量等其他熱源沒有的優點。


有效放射波長為180nm以下的真空紫外光(VUV)


 

內建UV燈,方便使用的點狀UV照射裝置。配合生產線或工作之鏡片與裝置等的選購配備齊全。


可達成高效能,簡潔,及低溫處理的UV硬化與乾燥裝置。可配合目的之燈具,UV強度,及照射範圍等應用組合。


可應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性,離子注入時的阻劑脫氣與燒製,電荷消除,疲乏消除,以及Low-k Cure等各種用途。


介紹投影曝光方式(單面整體曝光・雙面同時曝光・步進與重複)、及PROXIMITY曝光方式等各種曝光裝置。


介紹晶圓或光照外觀檢查,軟性基板等回路檢查,以及玻璃面檢查的外觀檢查裝置。


介紹身為光源製造商的USHIO,站在用戶立場自行開發出「正確且方便使用」的光量與照度測量儀器。