外觀檢查裝置

介紹晶圓或光罩外觀檢查、軟性印刷基板等回路檢查、以及玻璃面檢查用外觀檢查裝置。

TAB與COF自動外觀檢查裝置組合穿透照明與反射照明，以達到傳統A.O.I裝置無法做到的高精確度檢查。	玻璃檢查裝置光學模組(OPTICAL MODULEX) 可依目的組合規格化之零件組的照射裝置。