TAB與COF自動外觀檢查裝置
運用TAB與COF曝光裝置上的經驗與實績,開發出的檢查裝置。組合穿透照明與反射照明,具有20um Pitch高分解能之高檢測能力,達成解決原來A.O.I.裝置問題的高精確度檢查。
特徴
以2um光學分解能對應20um Pitch
自行開發出利用照相機鏡頭達成2um光學分解能,斜向配線部亦可完成配線範圍7um上的1/3規則檢查。適用於TAPE寬度160mm。
以穿透光並用檢查處理精密間距的能力
TOP線幅更細,即使是難以完成正確線幅檢查之25um以下的精密間距,亦能經由同時使用穿透光照明,達成配線筒上的線幅測量。
與MASTER的線幅比較運算處理
透過執行所有配線部份測量的運算處理,可依據線幅執行(1/3規則)缺點檢測。達到更接近人工判斷的缺點判斷。
主要用途
洽詢
台北 TEL: (02)2322-4103 / FAX: (02)2394-4140
|
閱覽PDF檔案前,必須先安裝Adobe Reader。 請由此下載Adobe Reader。
|