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超高壓UV燈

在與設備商之共同開發體制的背景之下、迎合設備製造廠各種需求、開發出獲得好評且值得信賴的曝光製程用UV燈。100w~35kw等級、產品系列齊全,是最適合提升產能、並改善良品率等的光源提案。此外、顧客新設備的開發方面,我們亦配合開發適用的燈具。

製品写真


特徴

最適合曝光製程的紫外線波長

在紫外線波長中,USHIO的超高壓UV燈仍可有效運用3線(436nm・405nm・365nm)波長,是長效型、且具有穩定放射照度的高亮度光源。


發揮光學系最大性能的點狀光源

弧形大小極接近點狀光源,易於集中與擴散光學系統上的光,因此可以得到均勻的照度分布。


配合半導体、液晶・彩色濾光片・PDP以及印刷基板用線路成形等各種用途的燈輸出

因應回路與類型燒付照度需求的提高、小型(100w級)~超大型(35kw級)為止、適用各尺寸的燈具。


發揮現有設備最大性能的高照度

因應現有設備Throughput提升的需求、即使僅使用高照度燈、亦可望確實提升產能。
※部分設備商產品則必須實施設備改造。


對應需求波長的燈具開發

配合顧客新設備的開發,開發出最適合的燈具。詳情請洽詢。


紫外線壽命特性


主要數據資料

分光分布(超高壓UV燈)


分光分布(Deep UV燈)


主要用途

  • 半導體回路形成用光源
  • 液晶回路形成用光源
  • 彩色濾光片回路形成用光源
  • 電漿顯示器回路形成用光源
  • 印刷電路板回路形成用光源
  • MEMS回路形成用光源
  • 其他新的曝光用途等

點燈裝置的介紹

洽詢

台北 TEL: (02)2322-4103/ FAX: (02)2394-4140
 

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