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有關光醫療、生化及MEMS

介紹有關可由光檢查與光治療,應用於醫療領域的燈具與裝置,以及生化與MEMS相關的製造裝置等。


醫療

大範圍放射600nm - 740nm光線、並具有630nm與670nm波長峰值的光治療器。


μ-TAS的光學測量裝置。吸光度測量與螢光測量等適用各晶片的需求。


有效放射波長為180nm以下的真空紫外光(VUV) 。


具有從可視光到紅外線之廣泛連續光譜的燈具,可使用在照明或分析與測量、及光治療等各種用途。


封入氙氣,瞬間得到大光量與高光束,並可重複發光的燈。廣泛地應用在光反應等。


為了達到氙氣燈特色的高顏色表現性,採用反射鏡一體型之精簡形狀的光源。



生化與MEMS

可延著基板(3D結構)的凹凸實施阻劑塗佈,是傳統旋轉塗佈器無法做到的。


無須在構成MICRO TAS基板的玻璃與PDMS(矽膠)使用接著劑,以真空紫外光完成瞬間接著。


配備適用於20mm~最大φ8英吋之晶圓,具有最小5微米(MICRO)L/S規格之等倍投影曝光光學系統的曝光裝置。