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準分子(Excimer)燈/準分子(Excimer)光照射裝置

封入氙氣的準分子(Excimer)燈(誘電體屏障放電Excimer燈)可有效放射波長180nm以下的VUV(真空紫外線),達到超越以往的化學反應與反應速度。

製品写真


特徴


單一波長、低溫處理

因為是單一波長,因此可選擇會引起化學反應的紫外線,並可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。


高效率

從電力轉換為光能源的效率高(172nm型的轉換率10%),即使低電力亦可產生大的能量。


可瞬間亮燈滅燈

僅於必要時照射必要量的能量,因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優點。

安裝方向不受限制

燈的亮燈方向不受限制,可配合生產線做立面照射。 

分光分布


半導體製程用裝置實例


液晶製程用裝置實例


用途

  • HDD光碟洗淨
  • 阻劑剝離
  • 阻劑殘渣的剝離
  • 塑膠基板的洗淨
  • 金屬表面的清洗與重組
  • Low-k Cure
  • PDP螢光體評估
  • 分析評估前的洗淨
  • 氣體分解
  • 形成氧化膜
  • 防止帶電
  • 乾燥
  • 玻璃膠膜的貼合
  • 纖維的改質
  • 有機EL封裝管的接合性提升
  • 有機EL的工作函數増加

測試機介紹

提供使用產品的實驗或測試機。測試後可直接購買。※部份使用目的與用途等無法配合需求。敬請見諒。

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洽詢

台北 TEL: (02)2322-4103 / FAX: (02)2394-4140

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