MICRO TAS接著裝置

無須在構成MICRO TAS基板的玻璃與PDMS（矽膠）使用接著劑，以真空紫外光完成瞬間接著。
由準分子(Excimer)燈的真空紫外光照射後，實施對位再接著，因此可正確貼合。

特徴

以真空紫外光照射達到表面改質的效果，加強基板與基板（玻璃/PDMS及PDMS之間）的接著。

僅有燈管照射，不增加基板負擔的接著。

分成照射部與對位部，設備安裝上亦具有彈性。此外，照射部亦可應用在洗淨、及表面改質等的開發與研究。

適用於4吋晶圓的單片處理。6吋以上的晶圓與自動搬運機構等，請另外洽詢。

僅需更換燈管，無快門等驅動部，維修保養容易。燈管無須經常亮燈，隨時可ON/OFF切換。

可使用產品進行各種測試。詳情請洽詢。

※無法適用部分要求內容，敬請見諒。

台北　TEL: (02)2322-4103/ FAX: (02)2394-4140

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