準分子(Excimer)燈/準分子(Excimer)光照射裝置
封入氙氣的準分子(Excimer)燈(誘電體屏障放電Excimer燈)可有效放射波長180nm以下的VUV(真空紫外線),達到超越以往的化學反應與反應速度。
特徴
單一波長、低溫處理
因為是單一波長,因此可選擇會引起化學反應的紫外線,並可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。
高效率
從電力轉換為光能源的效率高(172nm型的轉換率10%),即使低電力亦可產生大的能量。
可瞬間亮燈滅燈
僅於必要時照射必要量的能量,因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優點。
安裝方向不受限制
分光分布
半導體製程用裝置實例
液晶製程用裝置實例
用途
- HDD光碟洗淨
- 阻劑剝離
- 阻劑殘渣的剝離
- 塑膠基板的洗淨
- 金屬表面的清洗與重組
- Low-k Cure
- PDP螢光體評估
- 分析評估前的洗淨
- 氣體分解
- 形成氧化膜
- 防止帶電
- 乾燥
- 玻璃膠膜的貼合
- 纖維的改質
- 有機EL封裝管的接合性提升
- 有機EL的工作函數増加
測試機介紹
提供使用產品的實驗或測試機。測試後可直接購買。※部份使用目的與用途等無法配合需求。敬請見諒。
洽詢
台北 TEL: (02)2322-4103 / FAX: (02)2394-4140
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