達成高效能,簡潔,及低溫處理的UV硬化與乾燥裝置。可配合目的之燈具,UV強度,及照射範圍等應用組合。
介紹從電子零件或光學零件等細微面精密接著,到阻劑硬化及液晶面板貼合等,無須使用熱的「光(紫外線)硬化與接著裝置」。
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達成高效能,簡潔,及低溫處理的UV硬化與乾燥裝置。可配合目的之燈具,UV強度,及照射範圍等應用組合。 |
應用於提升乾蝕刻時的耐電漿性,離子注入時的阻劑脫氣,燒製,電荷消除,及Low-k Cure等各種用途。 |
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內建UV燈,方便使用的點狀UV照射裝置。配合生產線或工件之鏡片與裝置等選購配備齊全。 |