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繼半導體、FPD之後,被視為第三事業的太陽能電池,作為下一世代能源來源的結晶矽太陽能電池、矽薄膜太陽能電池、CIS太陽能電池都在急速成長。
因Halogen Heater具有其他熱源所無法具備的「非接觸式快速升降溫」性能,因此被認定為燒結爐、CVD、層壓等熱處理裝置中的標準熱源。
在半導體市場中培育出的高精密度熱處理性能,以及在FPD市場中累積的長年實際表現所製造出來的長尺寸加熱器,推出後馬上成為各種太陽能電池市場上不可或缺的戰力。
單晶矽、多晶矽、非晶矽、玻璃、薄膜、化合物、銀膠
以熱容量小的鎢繞絲當作發熱體,可以達到非接觸式快速升降溫的可能。
優越的高速升降溫性能,可以在燒結工程中維持最佳溫度的狀態。另外,與一般會消耗電力的電阻加熱不同,其快速啟動性能可以縮短加熱的時間加快生產節奏。此外只要在需要時啟動即可,對於降低生產成本貢獻頗大。
藉由光學設計的Heater設備與專用的PID控制系統,實現其他熱源所無法達成的優越熱控制效果。
Halogen Lamp Heater可以配合大型玻璃基板來製作Heater。另外,因為可以Lamp形狀可依照需求,所以也可以對應長尺寸的需求。因為非接觸式的加熱,可以維持潔淨的環境,無論在大氣中或是真空狀態下加熱環境皆不受限制。因為是以「光」加熱,所以也不會釋放出氣體,對於降低二氧化碳的排放很有效果。