磊晶矽

• 對於磊晶矽成長所必須1200°C的高溫熱處理製程，Halogen Lamp Heater是最適用的。
• 而且使用壽命長，可以降低營運成本，對降低製造成本上有很大的貢獻。

CVD / PVC

• 可以瞬間點燈的Halogen Lamp Heater，不需要像加熱板需要長時間的等待使溫度穩定。而它潔淨的非接觸式加熱方式，也無須擔心污染的問題。

洗淨‧乾燥

• Halogen Lamp Heater的高速反應性能，可精密地控制純水或化學藥劑的溫度。
• 而且，Halogen Lamp Heater是以高純度的石英所製成，不會產生雜質的情況。
• 以Halogen Lamp Heater的非接觸式加熱方式，可以讓洗淨後的晶圓在潔淨的狀態下進行乾燥。

優越的升降溫性能

以熱容量小的鎢絲燈當作發熱體，可以達到非接觸式快速升降溫的可能。
在加熱矽晶圓時，能以每秒250°C以上急速升溫。在減低熱能需求或薄膜形成、淺接面層形成上是不可或缺的熱源。
另外，與平常電力消耗的電阻加熱不同，快速啟動的性能，可以在需要時啟動、不需要時關閉，對降低生產成本、提高生產節奏等降低製造成本方面有很大的貢獻。

高控制性能

以光學設計的加熱器設備及專用的PID控制系統，無論從低溫到高溫範圍，都能夠實現其他熱源所無法達成的優越控溫效果。
再加上Halogen Lamp Heater的非接觸式加熱方式，不僅可以達到潔淨的加熱環境，也能給予裝置設計極高的自由度。

小型‧潔淨的熱源

Halogen Heater雖然體積小、重量輕，但輸出能量卻很大，因此也能安裝在狹窄的場所。同時其非接觸式加熱的特點，能保持潔淨的環境，無論在大氣中或真空狀態下，加熱環境皆不受限制。光加熱並不會釋放出氣體，所以對於降低二氧化碳的排放也很有幫助。

長效型且維持固定的能量放射

因為鹵素週期的作用，可做到其他Halogen Lamp Heater所沒有的長效型設計。同時因為它不會像其他熱源會隨時間而變化，因此即使達到燈管壽命末期也是幾乎能維持著一定的放射能量。