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鹵素加熱器因為具有其他熱源所無法做到的「高速升降溫及非接觸式加熱」性能,因此能配合大型基板達到長尺寸化的可能性。使用鹵素加熱器,對於縮短生產間隔及加熱環境不受限上有很大的貢獻。
液晶用玻璃、PDP用玻璃、有機EL(有機電致發光)、LTPS(低溫多晶矽)、ITO膜(透明導電膜)、彩色濾光片
以熱容量小的鎢繞絲當作發熱體,可以達到非接觸式快速升降溫的可能。
加熱玻璃基板時,可以在數十秒內升溫到所設定的溫度。由於加熱時間縮短,處理能力效率得以提升。
另外,與平常電力消耗的電阻加熱不同,快速啟動的性能,可以在需要時啟動、不需要時關閉,以降低營運成本。
以光學設計的加熱器裝置和專用的PID控制系統,實現其他熱源所無法達到的優越熱控制效果。
Halogen Lamp Heater,因為體積小、重量輕的優點,最長可製作到2.5M的長度。另外,因為可以Lamp形狀可依照需求,所以也可以對應長尺寸的需求。其非接觸式加熱的特點,能保持潔淨的環境,無論在大氣中或真空狀態下加熱環境皆不受限制。光加熱並不會釋放出氣體,所以對於降低二氧化碳的排放也很有幫助。