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共同實驗與測試機的介紹

備有適於正在檢討共同實驗、開發、及供顧客採購的共同實驗裝置之備用與測試機。可租借與共同研究與實驗或是樣品有關的實驗與測試機,必須是使用UV燈、閃光燈、EB(電子光束)、VUV光源(EXCIMER)、及鹵素加熱器等各種光源。

※詳情請填寫洽詢表或電話洽詢。

※非適用所有實驗內容,或是測試機使用目的與用途等,敬請見諒。


共同實驗

OPTICAL LAB(光學研究室)

從真空紫外線到紅外線所有波長均可照射的光照射實驗設備。



測試機

依目的組合規格化零件之照射裝置。


有效放射波長為180nm以下的真空紫外光(VUV)


內建UV燈,方便使用的點狀UV照射裝置。備有配合線條,工作之鏡片,或裝置等齊全的選配配備。


最適合Super-connec領域之設計規則(約10μmL/S)的ROUGH STEPPER。


具有適用於解析力3umL/S~20umL/S、曝光區域φ100~300mm的各種類型(單面/雙面、全部/部分等)。


可應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣,燒製、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。


從測量分光能源絕對值開始,可以簡單操作來完成各種測量的簡易式分光照度計。


除平面外、連±R50mm曲面亦可瞬間測量的分光反射率計。


照光裝置、UV固化、及洗淨與殺菌裝置等,適用各種照度管理的簡易型光測量儀。


大範圍放射600nm - 740nm光線,並在630nm與670nm時具有波長峰值得光治療器。


可延著基板(3D構造)的凹凸實施阻劑塗裝,是傳統旋轉塗裝器無法做到的。


無需在構成MICRO TAS基板的玻璃與PDMS(矽膠)使用接著劑,以真空紫外光完成瞬間接著。