噴霧塗佈器

基板的底部亦可實施無氣孔的阻劑塗佈。

實施晶圓調溫，使阻劑固定在高低差頂部，達到無分段的阻劑塗佈。

採用高精確度精密零件，重複塗布等可實施正確的選單管理。

適用4、6、8吋晶圓的單片裝置，以及自動搬送裝置等，各種選購配備齊全。

非常簡易的裝置結構，維修方便。具備自動清洗功能等選購配備。

• MEMS裝置試作、開發及量產
• 集積化MEMS試作、開發及量產
• 厚膜阻劑塗裝
• 半導體重新配線
• 大型方形基板
• 阻劑填埋與平坦化等

可使用產品進行各種測試。詳情請洽詢。

※無法適用部分要求內容，敬請見諒。

台北　TEL: (02)2322-4103/ FAX: (02)2394-4140